在半导体产业对生产环境要求日益严苛的背景下，中山某知名电子企业成功引入东莞市仟净环保设备有限公司研发的500L/H电子级DI水系统，为晶圆封装与清洗工艺提供了关键性的超纯水保障。该系统凭借18.2MΩ·cm的极致电阻率及多重深度净化工艺，成为支撑企业高端芯片制造的核心基础设施。

核心技术亮点：七重精密纯化，定义水质巅峰 仟净采用行业领先的复合式纯水工艺链，确保每一滴水均达电子一级标准：

1. 双级RO反渗透：高效去除99%以上溶解盐分及微粒，奠定低TDS基础；

2. 连续电除盐（EDI）：无需化学再生，实现离子深度脱除与水质稳定；

3. 紫外+脱氧催化（UV+TOC）：精准分解有机物，控制总有机碳含量≤5ppb；

4. 超纯水抛光（SMB） + 微滤/超滤（MF/UF）：终端去除纳米级颗粒与微生物，保障出水超洁净度。

严苛应用场景：直击晶圆制造核心环节 该设备直接服务于半导体生产的两大关键流程：

• 晶圆清洗：超纯水冲洗硅片表面，避免金属离子残留导致电路短路；

• 封装制程：为切割、贴片、引线键合提供高纯度介质，防止封装污染失效。 系统以18.2MΩ·cm（25℃）的极限电阻率及≤0.1μm的过滤精度，彻底消除由水质引发的良率波动，助力客户突破芯片制程微缩瓶颈。

项目价值：国产化高端水处理方案的标杆实践 仟净通过此项目验证了其自主设计电子级超纯水系统的成熟能力：

• 稳定量产：500L/H连续供水能力匹配24小时不间断生产需求；

• 智能运维：全自动控制与远程监控系统降低人工干预成本；

• 标准符合性：水质全面超越ASTM D5127及SEMI F63电子一级标准。

半导体行业观察指出：“晶圆清洗用水纯度每提升一个数量级，芯片缺陷率可降低30%以上。仟净此套系统将电阻率稳定在理论极限值18.2MΩ·cm，标志着国产超纯水设备已具备服务7nm以下先进制程的实力。”

仟净环保凭借该项目在粤港澳大湾区半导体供应链中树立了技术标杆，其将工艺创新与本土化服务深度结合的模式，正加速推动国产高端装备在集成电路领域的自主化进程。