仟净环保DI水设备通过国际标准检测，赋能晶圆封装产业升级

2026年2月15日 21:50（农历丙午马年正月初一）发布

检测结论摘要

仟净环保为某头部晶圆封装企业定制的DI水系统，今日（2026.2.17）正式获得第三方权威机构出具的《半导体超纯水检测报告2026》。报告显示：

✅ 水质纯度全面超越SEMI国际标准

✅ 系统稳定性达120天零干预运行

✅ 能耗较行业基准降低18%以上

核心性能验证数据

注：数据源自CMA/CNAS认证实验室，覆盖27项细分参数连续30天稳定性测试。

技术突破与产业价值

1. 创新工艺集成
   采用 “多级RO→电化学除盐→真空脱气→UV光催化” 四级净化体系，攻克纳米级封装工艺中硅溶出控制难题（实测硅含量≤0.28 ppb），满足3nm芯片封装需求。

2. 智能运维革命
   ▸ AI动态调节系统降低人工干预需求，实现120天连续无人值守运行
   ▸ 预测性维护模块减少设备停机风险，运维成本下降35%

3. 绿色低碳认证
   通过能源回收装置将浓水余压转化为动能，年节电达42万度，相当于减排CO₂ 233吨（经SGS认证）。

行业应用里程碑

此次检测标志着国产DI水设备首次在 3nm先进封装产线 完成全流程验证：

• 成为客户ISO 14644-1 Class 2洁净车间认证 的关键支撑

• 产水水质支持 0.12μm级光刻胶清洗 工艺良率提升至99.98%

• 设备产能稳定覆盖 30吨/小时 峰值需求，保障晶圆日产能突破5万片

  
  

  
  

附件下载PDF版检测报告