半导体DI水去离子水设备安装案例

萧兴旺
2021-05-17

一、 项目设计基础及要求

根据我公司销售工程师的沟通及贵单位领导、技术人员提供的情况,贵单位拟投资建设一套   DI去离子水处理   系统以满足   半导体     用水需求。根据客户用水水质指标要求及原水水质情况,我公司设计提供一套纯水处理成套设备,可充分满足贵单位对高品质用水的需求。

1. 项目技术参数

1.1. 项目名称:2T/H纯水制水系统

1.2. 所属行业:   半导体行业     

1.3. 项目所在地: 东莞松山湖         

1.4. 工艺要求:多介质+ 性炭+全自动软化器+双级反渗透+EDI+双级脱气膜+双级除TOC装置+双级SMB+UF+恒压供水系统

1.5. 控制方式:PLC+触摸屏全自动控制,系统相关设备受“水箱液位+压力+流量”连锁控制自动运行。

1.6. 系统回收率:≥70%。

1.7. 项目涉及用水点:

序号

用水车间

用途

用水标准

用水量

1.

清洗车间




2.

研磨车间




2. 场地要求:

2.1. 场地面积:        10m2

2.2. 进水及排放要求:   应保证供给水源是连续稳定的,每小时流量应3m³/h。应预留相应的地漏或排水设施满足排水通畅。

2.3. 电源要求:         380V&50HZ   三相五线制,进线应预留空气开关或漏电保护器,电源进线≥6.0mm2。本系统两套制水设备,每套设备设立独立的电控箱,至少预留三个220伏的5孔插座,带接地。

2.4. 水源要求:市政自来水

天域半导体DI水去离子水系统安装案例.jpg