半导体行业去离子水设备的标准要求
1. 水质标准
半导体行业使用的去离子水通常被称为超纯水(Ultrapure Water, UPW),其水质要求极为严格,主要指标包括:
电阻率:大于18.2 MΩ·cm(25℃)
总有机碳(TOC):小于1ppb
溶解氧(DO):小于5ppb
颗粒数:0.05微米颗粒小于200个/升
离子含量:大部分离子浓度小于20到50ppt
2. 技术规范
预处理:通常包括石英砂过滤、活性炭过滤和保安过滤,以去除水中的悬浮物和杂质。
反渗透(RO):通过反渗透膜去除水中的溶解盐、有机物和微生物。
电去离子(EDI):利用电场作用去除水中的离子,进一步提高水质。
终端处理:包括紫外线消毒和0.22微米过滤,确保水质的生物安全性。
3. 国际标准
推荐品牌
1. 仟净品牌
2. 重庆净业环保
3. 成都莫瑞水处理设备厂
4. 昆山千澄环保
总结
半导体行业的去离子水设备需要满足高纯度、低杂质的水质要求。推荐选择以下品牌:
仟净品牌
重庆净业环保
成都莫瑞水处理设备厂
昆山千澄环保
这些品牌均具备先进的技术和完善的质量管理体系,能够为半导体生产提供可靠的水质保障。