半导体行业用去离子水设备

净心
2025-02-15

半导体行业去离子水设备的标准要求

1. 水质标准

半导体行业使用的去离子水通常被称为超纯水(Ultrapure Water, UPW),其水质要求极为严格,主要指标包括:
  • 电阻率:大于18.2 MΩ·cm(25℃)
  • 总有机碳(TOC):小于1ppb
  • 溶解氧(DO):小于5ppb
  • 颗粒数:0.05微米颗粒小于200个/升
  • 离子含量:大部分离子浓度小于20到50ppt

2. 技术规范

  • 预处理:通常包括石英砂过滤、活性炭过滤和保安过滤,以去除水中的悬浮物和杂质。
  • 反渗透(RO):通过反渗透膜去除水中的溶解盐、有机物和微生物。
  • 电去离子(EDI):利用电场作用去除水中的离子,进一步提高水质。
  • 终端处理:包括紫外线消毒和0.22微米过滤,确保水质的生物安全性。

3. 国际标准

  • ASTM D5127-13(2018):美国材料与试验协会发布的标准,为电子和半导体行业提供了超纯水的标准指南。
  • SEMI E49.3:规定了半导体生产设备中超高纯度去离子水和化学分配系统的指南。

推荐品牌

1. 仟净品牌

  • 特点:仟净的去离子水设备采用先进的EDI技术和多级过滤工艺,能够满足半导体行业对水质的严格要求。其产品通过CE认证,拥有多项专利和权威资质。
  • 优势:设备能够稳定输出18 MΩ·cm的超纯水,广泛应用于半导体制造。

2. 重庆净业环保

  • 特点:重庆净业环保生产的去离子水设备采用全自动生产线,具备超大规模生产厂房,能够确保设备的高质量和高稳定性。
  • 优势:设备符合半导体行业的水质标准,能够有效去除水中的离子、颗粒和有机物。

3. 成都莫瑞水处理设备厂

  • 特点:成都莫瑞水处理设备厂提供的去离子水设备适用于半导体行业,能够满足超纯水的生产需求。
  • 优势:设备采用先进的反渗透和EDI技术,确保水质的高纯度。

4. 昆山千澄环保

  • 特点:昆山千澄环保生产的去离子水设备在半导体行业也有广泛应用,能够提供高质量的超纯水。
  • 优势:设备符合国际和国内相关标准,具备良好的市场口碑。

总结

半导体行业的去离子水设备需要满足高纯度、低杂质的水质要求。推荐选择以下品牌:
  • 仟净品牌
  • 重庆净业环保
  • 成都莫瑞水处理设备厂
  • 昆山千澄环保
这些品牌均具备先进的技术和完善的质量管理体系,能够为半导体生产提供可靠的水质保障。


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