项目案例｜仟净 20 吨 / 天晶圆抛光液用超纯水系统顺利投产
净心
2026-08-17
近日，由仟净承接的某半导体材料企业晶圆抛光液生产用超纯水系统完成安装调试，正式投产运行。整套系统设计产能 20 吨 / 天，产出电子级超纯水，专门用于晶圆抛光液配置、稀释及工艺清洗工序，保障产品生产品质稳定。
晶圆抛光液对超纯水水质要求严苛，水中离子、TOC、颗粒物、微量金属杂质都会直接影响抛光效果与晶圆良率，需满足半导体行业超纯水使用标准。结合客户现场工况，仟净为项目定制完整工艺路线：预处理 + 双级反渗透 + EDI 电除盐 + UV‑TOC 降解 + 抛光混床 + 终端精密过滤，层层去除水中盐分、有机物、胶体、微粒，产水电阻率稳定达到 18.2MΩ・cm@25℃，严格控制 TOC、颗粒、微生物指标，满足抛光液生产严苛用水需求。
整套设备采用模块化集成设计，配套高纯管路，减少管路析出污染风险；搭载 PLC 全自动控制系统，实时在线监测电阻率、TOC、压力等关键参数，具备故障报警、自动冲洗、耗材预警功能，支持 7×24 小时连续稳定运行，降低现场运维压力。同时优化水回收设计，提升水资源利用率，控制企业长期运行成本。
项目从方案设计、设备制造、现场安装到调试交付，仟净团队紧密配合客户工期节点，高效完成落地。设备投产后各项水质、产能指标全部达标，获得客户认可。
依托多年半导体水处理项目经验，仟净可面向晶圆材料、抛光液、电子化学品、封装测试企业提供定制化超纯水、DI 水整体解决方案，提供设备制造、安装调试及售后运维一站式服务，助力半导体材料企业稳定生产。
