MEMS工艺线专用去离子水设备

萧兴旺
2018-11-17

MEMS工艺线专用去离子水设备

一、MEMS工艺线去离子水

   虽然大部分人对于MEMS(Microelectromechanical systems,微机电系统/微机械/微系统)还是感到很陌生,但是其实MEMS在我们生产,甚至生活中早已无处不在了,智能手机,健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备,部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。

MEMS是一门综合学科,学科交叉现象及其明显,主要涉及微加工技术,机械学/固体声波理论,热流理论,电子学,生物学等等。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米,相比之下头发的直径大约是50微米。


二、MEMS工艺线去离子水

     MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等,是微型传感器的主力军,正在逐渐取代传统机械传感器,在各个领域几乎都有研究,不论是消费电子产品、汽车工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域。

常见产品有压力传感器,加速度计,陀螺,静电致动光投影显示器,DNA扩增微系统,催化传感器。

MEMS的快速发展是基于MEMS之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。 MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件,例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而,MEMS器件加工技术并非机械式。相反,它们采用类似于集成电路批处理式的微制造技术。

三、MEMS工艺线去离子水

  批量制造能显著降低大规模生产的成本。若单个MEMS传感器芯片面积为5 mm x 5 mm,则一个8英寸(直径20厘米)硅片(wafer)可切割出约1000个MEMS传感器芯片(图1),分摊到每个芯片的成本则可大幅度降低。

因此MEMS商业化的工程除了提高产品本身性能、可靠性外,还有很多工作集中于扩大加工硅片半径(切割出更多芯片),减少工艺步骤总数,以及尽可能地缩传感器大小。

MEMS工艺线去离子水

仟净公司,MEMS制造工艺用去离子水设备资料如下:

序号

型  号

额定产水量

出水标准

功率

电源

1

Q-200EA-Ⅱ

200L/H

MEMS工艺线用离子水标准

1800W

220V/AC

2

Q-300EA-Ⅱ

300L/H

2000W

220V/AC

3

Q-500EA-Ⅱ

500L/H

2300W

380V/AC


第三项,380V的可订制220V,可根据用户电源情况选型。

MEMS工艺线去离子水设备功能

直接将自来水或地下水制备出符合标准的MEMS制造工艺用去离子水;

缺水保护;

水满停机;

前置过滤器自清洗;

水质在线监测功能;

开停机时系统自动清洗延长机器使用寿命;

MEMS工艺用DI水设备特点:

安装简单,使用方便,一键操作;

水质不合格报警功能;

一体化设计,占地面积省。

EDI电去离子工艺,使用耗材成本低。

MEMS工艺线去离子水.jpg



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