MEMS工艺线专用去离子水设备
一、MEMS工艺线去离子水
虽然大部分人对于MEMS(Microelectromechanical systems,微机电系统/微机械/微系统)还是感到很陌生,但是其实MEMS在我们生产,甚至生活中早已无处不在了,智能手机,健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备,部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。
MEMS是一门综合学科,学科交叉现象及其明显,主要涉及微加工技术,机械学/固体声波理论,热流理论,电子学,生物学等等。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米,相比之下头发的直径大约是50微米。
二、MEMS工艺线去离子水
MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等,是微型传感器的主力军,正在逐渐取代传统机械传感器,在各个领域几乎都有研究,不论是消费电子产品、汽车工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域。
常见产品有压力传感器,加速度计,陀螺,静电致动光投影显示器,DNA扩增微系统,催化传感器。
MEMS的快速发展是基于MEMS之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。 MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件,例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而,MEMS器件加工技术并非机械式。相反,它们采用类似于集成电路批处理式的微制造技术。
三、MEMS工艺线去离子水
批量制造能显著降低大规模生产的成本。若单个MEMS传感器芯片面积为5 mm x 5 mm,则一个8英寸(直径20厘米)硅片(wafer)可切割出约1000个MEMS传感器芯片(图1),分摊到每个芯片的成本则可大幅度降低。
因此MEMS商业化的工程除了提高产品本身性能、可靠性外,还有很多工作集中于扩大加工硅片半径(切割出更多芯片),减少工艺步骤总数,以及尽可能地缩传感器大小。
MEMS工艺线去离子水
仟净公司,MEMS制造工艺用去离子水设备资料如下:
序号 | 型 号 | 额定产水量 | 出水标准 | 功率 | 电源 |
1 | Q-200EA-Ⅱ | 200L/H | MEMS工艺线用离子水标准 | 1800W | 220V/AC |
2 | Q-300EA-Ⅱ | 300L/H | 2000W | 220V/AC | |
3 | Q-500EA-Ⅱ | 500L/H | 2300W | 380V/AC |
第三项,380V的可订制220V,可根据用户电源情况选型。
MEMS工艺线去离子水设备功能
直接将自来水或地下水制备出符合标准的MEMS制造工艺用去离子水;
缺水保护;
水满停机;
前置过滤器自清洗;
水质在线监测功能;
开停机时系统自动清洗延长机器使用寿命;
MEMS工艺用DI水设备特点:
安装简单,使用方便,一键操作;
水质不合格报警功能;
一体化设计,占地面积省。
EDI电去离子工艺,使用耗材成本低。
2005-2018 东莞市仟净环保设备有限公司 版权所有,并保留所有权利
东莞万江区大汾工业区,邮编:523000 0769-26380198 /13559753668 ww.qjhb.net
欢迎下载附件选型资料